透光性AlNセラミックスにおける格子欠陥の評価

抄録

窒化アルミニウム(AlN)は、6.2 eVのワイドバンドギャップを有していることから、紫外、可視、近赤外領域において無色透明であり、透光性セラミックスとして期待されている。本研究では、焼結助剤としてCa₃Al₂O₆を添加し、AlN焼結体を作製した。カソードルミネッセンス測定および酸素含有量測定の結果、Ca₃Al₂O₆の添加量を増加させるに従い酸素が関与した欠陥が減少することがわかった。透光性に与える影響を格子欠陥の観点から調査したので報告する。