抄録
SiC-AlNコンポジットは高温構造材料や高温半導体材料として期待されている．本研究では，原料粉体としてSiC, AlN微粉末を使用し，放電プラズマ焼結法（SPS）を用いて，焼成温度1900-2100℃でSiC-AlNコンポジットを作製，その微細構造と組成分布を調べた．その結果，XRDによる結晶相，格子定数の変化から，焼成温度1900, 2000℃では3C(β-SiC)ssと 2H(α-SiC/AlN)ssの不均一な相分布が認められた．焼成温度2100℃では2H(α-SiC/AlN)ssの均一固溶体が生成することが分かった．さらにFE-SEM観察，ならびにEDSによる組成分析結果から，焼成温度によってコンポジット中のSiC成分とAlN成分の拡散による固溶状態の違いが明らかにされた．
