ケイ化鉄半導体薄膜の低温作製

抄録

スパッタ法によるケイ化鉄半導体薄膜の低温作製について報告する。特に，バルクでは銅添加によりβ化が促進されることが報告されているので，銅を添加したターゲットを作製し，スパッタ法によりケイ化鉄薄膜の作製を試みた。