ラマン分光法による積層コンデンサの応力評価

抄録

小型化、薄膜化が著しい大容量積層コンデンサ（MLCC)における強誘電体層をラマン分光法を使ってミクロスケールでの応力構造解析を検討している。これまでにラマン分光法を用いた応力評価技術だけでなく、ドメイン配向などの評価技術も構築してきた。とくにコアシェル構造を有するMLCC材料においては、強誘電体層にかかる強い応力により、非常に微粒子であるにもかかわらず、ドメイン方向が統計的に配向していることが分かった。ラマン分光法による評価手法とMLCCにおける評価結果について発表する。