抄録
酸化スズは、透明導電膜、触媒、ガスセンサーとして広く研究されている。特に触媒やガスセンサーとしての機能の解明及びその向上、新機能の開発のためには、酸化スズ表面での反応を理解することが重要である。しかし、表面反応の解析に必要な単結晶の入手は困難であり、またその単結晶の品質の安定も十分とは言いがたい。そこで、酸化スズの表面反応の解析に使用することが可能な高品位の結晶性を持つ材料を開発することを目的として、MBE法を用いてチタニア系基板上でのエピタキシャル酸化スズ薄膜の作製について検討した。基板として、ルチル（１１０）面及びSn添加ルチル（１１０）面を、酸化剤として二酸化窒素を用いた。薄膜は電子線回折及びＡＦＭ、XPSにより評価した。
