走査型非線形誘電率顕微鏡による酸化亜鉛セラミックスの局所的電気特性の観察

抄録

酸化亜鉛は，特徴的な電気・光学・力学的特性を有するため，バリスタやセンサなど広く応用されてきた機能性材料である．現在に至っても，酸化亜鉛の機能拡大と特性向上のための研究が盛んに行われている．近年は，特性向上に加え材料の小型化・微構造のナノ化を狙う研究も多く行われており，それにともない微細領域での特性評価が重要となってきている．そこで本研究では，走査型非線形誘電率顕微鏡を使用し，材料微構造及び局所的な電気特性を同時に観察した．