BaTiO₃のラマン分光分析におけるレーザーの影響

抄録

BaTiO3はMLCC（積層セラミックコンデンサ）の主な材料である。MLCCは金属とセラミックスの同時焼成によって製造されており、金属とセラミックスの熱膨張率の違いから残留応力が発生する。この残留応力はMLCCの特性と信頼性に大きく影響を与えていると考えられている。我々はこれまで顕微ラマン分光分析法を用いたBaTiO3の評価・分析技術の検討を行い、強誘電体のドメイン、応力などを分析できることを示してきた。顕微ラマン分光分析法を用いたBaTiO3の測定ではレーザーによる各種影響が考えられ、それらについて検討した結果を報告する。