Yb添加SrTiO₃の固溶状態と誘電特性

抄録

近年デジタル機器の小型・薄型化の要求により、受動部品である積層セラミックコンデンサの小型・大容量化が急速に進んでいる。SrTiO₃は比較的大きな誘電率を有し、温度に対する誘電率変化も小さいためコンデンサの誘電体層として利用できる。また近年は、コンデンサの内部電極として低コストなNiが用いられるが、高温で酸化してしまうため焼成は誘電体と共に低酸素雰囲気で行う必要がある。しかしSrTiO₃は、高温で酸素の解離により半導体化する問題がある。そこで希土類元素をドナー及びアクセプタとして添加することでSrTiO₃にどのような影響を及ぼすのかを調査し、より高信頼なコンデンサ材料を創製することを目的とした。