抄録
チタン酸バリウム（BaTiO3）は、代表的な強誘電体化合物の一つであり、積層コンデンサなどの電子デバイスに広く用いられている。近年、電子機器の小型化に伴い、さらなる電子デバイスの小型・高性能化が求められている。一般に、結晶の方位が揃ったエピタキシャルおよび配向性強誘電体膜はその多結晶膜と比較した場合、電気・光学特性が優れているということが知られている。そこで我々は、比較的安価で製膜プロセスが容易である塗布熱分解法を用いて、(100) MgO単結晶を基板としたBaTiO3高配向膜を作製した。また製膜プロセスにおいて、BaTiO3前駆体溶液に加える有機溶媒、焼成温度および昇温速度が薄膜形成に与える影響を調査した。
