陽極酸化と水熱変換によるTiO₂およびBaTiO₃ナノチューブ配列薄膜の作製

抄録

チタン基板をフッ化水素酸(0.1－0.5 wt.%)に浸漬して定電位電解処理(10－20 V)を施すことにより，TiO₂ナノチューブが規則的に配列した薄膜を作製した．TiO2ナノチューブの形態はおもに印加電圧に依存し，その内径は30－70 nm程度，壁厚は12－17 nm程度の範囲で制御することができた．テフロン内張りオートクレーブを用い，0.1 M Ba(OH)2水溶液中で水熱処理（150℃，90 min）を施すことにより，このTiO₂ナノチューブをBaTiO₃ナノチューブに変換することができた．