抄録
炭化珪素(SiC)は優れた熱的安定性を有するが、焼結助剤を用いずに緻密化を行うことは非常に困難である。一般的な焼結助剤として希土類酸化物等の希少元素も多く用いられている。しかし、メカニカルアロイングを用いて作製した積層無秩序構造を有するSiCをパルス通電焼結法にて焼結すると、助剤を用いずとも相対密度99％以上の緻密体を得られることがわかった。本研究では各種作製条件を検討することで高密度焼結体を作製し、その表面と電気伝導性を評価した。得られた試料の加工後の表面粗さを接触式表面粗さ測定装置より測定した結果、Raは2～8nmであり、電気伝導度は4.1×103S/mであった。
