BiCuVOx固体電解質を用いたプレーナ型有機ガスセンサ

抄録

Bi₂Cu_0.1V_0.9O_5.35の組成式で表されるBiCuVOx は、低温でも比較的高い酸化物イオン導電性を示す材料として知られている。また、このBiCuVOxは焼結温度が低いことからシリコンやアルミナ基板上に製膜が可能であり、センサ材料として用いた場合に素子の小型化が期待できる。我々は、BiCuVOx固体電解質にLaSrCo系ペロブスカイト型酸化物を電極として接合したセンサが350～400℃においてアルデヒドやアルコールなどの有機ガスに対して高い応答性を示すことを見出した。また、対極上に白金触媒をコートすることによりプレーナ型センサとして構築できると考えている。本発表では、これらのセンサ特性および応答メカニズムについて報告する。