エアロゾルデポジション法により作製した強誘電体膜に与える噴射粉末粒径の影響

抄録

AD法で常温形成した強誘電体膜のPr特性は熱処理によって向上する。より低い熱処理で特性を向上させるにために、添加剤を検討している。PZT系の強誘電体粉末にBi2O3-ZnOを添加・仮焼した系で、原料粉末の粒径が大きくなると、熱処理によって粒成長が促進され、結晶性ならびにPr特性は向上した。特に、700℃熱処理では焼結膜の90％まで到達した。粒径が大きくなるとPr特性が向上する要因は、成膜時に歪の少ない領域や微結晶粒が比較的大きい領域が膜内に形成され、熱処理時に核として粒成長するためと推定した。また、膜の粒径とPr特性、膜の結晶性とPr特性に相関があることがわかった。