抄録
従来の研究から,AlNに3mass%Y2O3-1mass%CaO + ホウ化物を添加して低温焼結を行うと,焼結性の良いAlNセラミックスが得られる事が明らかにされている。今回我々は,従来のホウ化物の代わりに,ホウ素の単体を選択して添加し,AlNの焼結挙動と熱伝導率について調べた。
AlNの焼結は,カーボン炉内,窒素気流中,流量1ℓ/ minでの熱処理で行なった。得られた焼結体について収縮率測定,質量減少率測定,アルキメデス法による密度測定,SEMによる微細構造の観察,粉末X線回折実験(XRD)による粒界相の同定,及びAlNの結晶格子の格子定数c軸を算出,レーザーフラッシュ装置により熱伝導率の算出を行った。
測定は対温度,及び対時間について行い,それらの結果からAlNの焼結挙動について考察を行った。