反射防止機能を有するナノコンポジット蛍光体薄膜の作製と評価

抄録

　半導体ナノ蛍光体の応用として、何らかのマトリクスにナノ蛍光体を分散させる試みが注目されている。本研究では反射防止機能を付与したナノコンポジット蛍光体薄膜を作製することを目的とした。ナノ蛍光体としては、450～730nmと広い範囲で可視発光を示しうるZnOに注目した。マトリクスとしてはシリカを選択し、ゾルーゲル法を用いて作製した多孔質シリカ反射防止薄膜中にあらかじめ作製しておいたZnOナノ蛍光体を分散させることにより、可視光域で透過率の高いZnO蛍光体薄膜の作製を目指した。さらにZnOナノ粒子自身の特性を評価することにより、コンポジット化におけるマトリクスおよび膜全体への影響を検討した。