ポリシラザンをシリカ源とするPMMA/シリカハイブリッド薄膜の作製と性質

抄録

　ポリシラザンのキシレン溶液にPMMAを溶解させ、スピンコーティングによりSi(100)基板上にPMMA/ポリシラザン薄膜を作製した。これに室温でアンモニア水上で曝露処理を施し、PMMA/シリカハイブリッド薄膜とした。作製した薄膜の硬さ、光透過性、濡れ、化学的耐久性を評価した。