形状記憶合金ワイヤの表面を圧電材料でコーティングした複合機能デバイスの開発

抄録

本研究では形状記憶効果を持つNiTi合金の表面に水熱合成法で機能性セラミックスのP Z T結晶層を成長させ、形状記憶効果、超弾性効果、圧電効果、焦電効果の複数の機能を融合させたデバィスの研究を行なう。複数の機能を融合させることにより個々の機能の高性能化を行い、また欠点を補い合うような新しいセンサ、アクチュエータシステムの開発を目指し研究を行った。直径150μmのNiTi合金表面に水熱合成法によりPZT薄膜を作製し、超弾性領域の5％の歪み変形を圧電薄膜から電気信号として検出することに成功した。