ディスク形状に微細加工したPZT厚膜のインピーダンス応答特性

抄録

Pt/Ti/SiO₂/Si基板上に作製した膜厚10μmのPZT膜を、直径20～1000μmのディスク形状に微細加工し、1～300MHzの周波数域で圧電性に起因するインピーダンス応答特性を測定した。試料作製直後に観察されなかった厚み振動モードの共振－反共振ピークが、室温で100v、10分間のポーリング処理を行うことで、180MHz付近に観察され、超音波トランスデューサとしての応用が可能であることが明らかになった。