窒化物焼結助剤を用いて焼結した窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率

抄録

平成14年、窒化ケイ素の焼結助剤としてMgO-Yb2O3系を用い脱酸素焼結助剤MX(M＝Ti or Zr , X=C or N)の効果を検討した。その結果、熱伝導はある程度向上したが、緻密化が阻害された。本研究では、焼結助剤をNd2O3-Yb2O3系に変更し、M=Hfを加え検討した。