非線形誘電率顕微鏡によるZnOセラミックスの微構造観察

抄録

酸化亜鉛は優れた電気的特性を持っており電子材料として、バリスターやセンサー，圧電素子等に使用されている．これまでは，特性と微構造の評価がマクロスケールで行われてきたが，近年，材料の微構造のナノ化及び材料自身の小型化によりナノスケールでの評価に対する要求が高まってきている．そこで，本研究ではSPM（scanning probe microscope）を使用し，酸化亜鉛多結晶体の微構造と電気物性を同時に観察した．SPMは，100μm程度の広い領域からナノ領域まで三次元形状の高分解測定が可能な観察機器である．電気物性の評価には，SNDM（Scanning Nonlinear Dielectric Microscope, SNDM）を使用した．