EB-PVD法による多孔質被膜の焼結とシミュレーションによる解析

抄録

EB-PVD法による成膜した熱遮蔽膜はナノポアを多数含んでおり、これにより遮熱効果が得られている。しかしながら高温では、ナノポアが消滅することで熱遮蔽膜自体に収縮が起こり、密着している基材との界面に歪みが生じて膜がはがれることがある。そこで本研究では、JFCCの持つ計算手法により、基材上の多孔質膜におけるナノポア消滅過程と、基材と膜界面に生じるひずみ等を検証する。