PVP支援ゾル-ゲル法により作製されるシリカ薄膜の気孔率に及ぼす諸条件の影響

抄録

　演者らはこれまでに、ポリビニルピロリドン（PVP）を含有するアルコキシド溶液をコーティング液とすることにより、ゲル膜の作製と焼成からなる１回のコーティング操作で、亀裂発生を伴うことなく1ミクロン以上の厚さをもつセラミック薄膜やガラス薄膜を作製できることを明らかにしている。本研究ではこの方法により作製されるシリカ薄膜の気孔率に及ぼす成膜条件の影響を系統的に調べた。