ナノシートシード法を用いたPLD法による配向性酸化物薄膜の作製

抄録

層状酸化物を剥離することで得られる酸化物ナノシートは、分子レベルの薄さをもつ一種の二次元酸化物結晶である。我々はこの酸化物ナノシートを利用することで、非常に平滑かつ結晶性の高いシード層を室温で簡単に作製する手法を考案した。この方法を利用することで、ガラスや金属等様々な基板の表面に望みの構造をもったシード層を作製し、その上で高品質な配向膜を成長させることが可能となる。本発表ではペロブスカイト構造をもったニオブ酸ナノシートをシード層とし、PLD法によって機能性セラミックス(SrTiO₃, TiO₂ etc.)の配向膜を成長された結果について報告する。