アパタイト構造La_9.33(Si₆O_24-xN_x)O₂:Tb³⁺酸窒化物蛍光体薄膜の作製

抄録

蛍光灯に用いられている蛍光体の母体として使用されてきたハロリン酸カルシウムはアパタイト構造を持つことが知られている。我々は同じアパタイト構造をもつ部分的に窒化したTb添加La_9.33(Si₆O_24-xN_x)O₂が強い緑色の蛍光を示すことを報告した。無機ELデバイスなどへの応用へ向け、本研究ではRF-スパッタリング法によって酸化物蛍光体薄膜La_9.33(SiO₄)₆O₂:Tb³⁺を作製した。それをさらにNH₃雰囲気で窒化することにより酸窒化物蛍光体薄膜La_9.33(Si₆O_24-xN_x)O₂:Tb³⁺を作製した。紫外光照射下において、酸窒化物薄膜は強い緑色の発光を示した。