コロイド結晶テンプレート法を用いた多孔質Pdオプティカル水素センサの作製と評価

抄録

水素は次世代のクリーンなエネルギー源として期待されており、その実用化に向けた研究開発が精力的に行われている。一方、水素は可燃性、爆発性を有する気体である。安全、安心な水素エネルギー社会を実現するための一手段として、高性能な水素センサを開発することが挙げられる。われわれは、Pd薄膜を用いた室温作動型オプティカル水素センサの作製と評価に関する研究を行っている。本研究では、さらなるセンサ性能の向上を目指し、サブマイクロメートルスケールの微細構造が制御された多孔質Pd薄膜を作製し、その水素ガス検知特性に関する検討を行った結果について報告する。