光電着法を用いたPd/TiO₂オプティカル水素センサの作製と評価

抄録

次世代のクリーンなエネルギー源として水素が注目されている。一方、水素は可燃性・爆発性を有する気体であるため、水素の漏洩を安全に検知するための高性能な水素センサを開発する必要がある。われわれは、Pd薄膜の水素化による光学特性変化を利用した室温作動型オプティカル水素センサの研究を行っている。本研究では環境低負荷型なプロセスを用いてPd/TiO₂膜を作製し、得られた試料の室温における水素ガス検知特性を評価した結果について報告する。