イオン照射による機能性セラミック・ナノファイバーの合成

抄録

MeVオーダーのイオンビーム照射により、セラミック前駆体である混合高分子材料から機能性セラミックナノファイバーを合成する合成法を開発した。ポリカルボシランをSi基板上に成膜し、これにイオンビームを照射すると、その飛跡に沿ってナノオーダーの架橋体が形成される。未架橋部を溶媒で除去し焼成することで、架橋部をセラミックナノファイバーに転換できた。ナノファイバーの直径は、イオンビームの線エネルギー付与及び高分子の分子量と架橋効率で、長さはケイ素高分子薄膜の厚さにより制御可能であった。