コプラナー放電による酸化物薄膜の形成

抄録

近年、低融点材料の表面に薄膜の作製が求められている。しかし、実用化されている多くの薄膜の作製方法が減圧下や高温下での反応が利用されている。本研究では誘電体バリア放電の一種であるコプラナー型放電に着目して、常温・大気圧下で放電を発生させて薄膜の作製を試みた。最初に、原料溶液を分解させるエネルギーの得られる電極のパターンを設計し、電極の作製を行った。次に、この電極を使用して、常温・大気圧中でガラス基板上の原料溶液に照射させ、酸化亜鉛の作製を試みた。