抄録
ナノインプリントは次世代のナノリソグラフィー手法の一つとして期待されている。通常のナノインプリントにおいては、ナノ金型での成形後に熱や光で樹脂を硬化させる必要があるため、装置が高価になっている。本研究では、ポリビニルアルコールとシリコン金型の離型性が高いことに着目し、特段の装置を用いることなく、簡便な手法でアルミナ多孔体へ微細構造加工を試みた。金型成形手法としては、ポリビニルアルコールとアルミナナノ粒子を混ぜた溶液を作製し、これを金型に流し込み、常温硬化させた。これを脱バインダーと低温焼成を行うことにより、マイクロメーターサイズの微細構造を有するナノ多孔体の合成が出来ることを明らかとした。
