HfO2及び TiO2添加Si3N4系セラミックスの焼結挙動

抄録

窒化ケイ素は優れた熱的・機械的特性によって、ベアリング材料として開発され、広範囲の応用分野において実用化されている。本研究は、代表的な組成系であるSi3N4-Y2O3-Al2O3-AlN系を基として、この系の焼結挙動に及ぼすHfO2 及び TiO2 添加の影響を調べたものである。とくに、この組成系での相反応、粒界相の役割、初期段階での焼結挙動解析などを中心に検討を行った。