抄録
表面プラズモン共鳴(SPR)分析は金属薄膜表面空間の屈折率変化を感度よく捉えることが可能である。屈折率に影響する真密度を変化させたアモルファス炭素(a-C)膜のSPR測定をすることにより、共鳴角シフトからa-C膜の真密度解析が可能であるかを調査した。表面プラズモン共鳴(SPR)素子上に堆積したa-C膜の真密度を測定した。高周波マグネトロンスパッタリング法と電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学気相析出法で作製したa-C膜の真密度はX線反射率測定により測定され、それぞれ1.6 g/cm3と1.4 g/cm3であった。膜の真密度と膜厚を増加させたとき、SPR角は高角度側へシフトした。
