日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第22回秋季シンポジウム
セッションID: 1A03
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強誘電体薄膜キャパシタの高速分子動力学シミュレーション
*西松 毅川添 良幸Umesh Waghmare
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抄録
強誘電体薄膜は不揮発性ランダムアクセスメモリー(FeRAM)と して応用され, その微細化が求められている. また, 分極 特性やヒステリシスの膜厚依存性(ナノサイズ効果)が強誘電体 の基礎物性として実験と理論の両面から盛んに研究されている ところである. 強誘電体の分子動力学シミュレーションは長距離の双極子間相互作用を 含むために大規模な系を高速に計算することが困難であった. また, 強誘電体薄膜のシミュレーションでは強誘電体-電極界面の 構造に起因する反分極場をいかにして取り込むかが課題であった. そこで, われわれはフォノンの逆空間での分散関係と高速 フーリエ変換 (FFT) を巧妙に用いた強誘電体薄膜の高速な 分子動力学手法を開発た. 分子動力学ハミルトニアンとしては 第一原理計算より求められるポテンシャルを用いる. feram と命名し, http://loto.sf.net/feram/ でフリーソフトウエア として公開している.
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©  日本セラミックス協会 2009
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