抄録
フェムト秒レーザーは、焦点付近のみに莫大なエネルギーを与えることが可能であるため、材料の局所領域における物性変化を誘起するのに適している。本研究では、サファイア内部にフェムト秒レーザーを照射し、照射部における物性変化を調べた。フェムト秒レーザー照射によってサファイア内部に形成されたナノクラックは、熱処理を施すことでヒーリングが誘起され、黒色のドット列に変化した。ナノクラックが消滅した領域を透過型電子顕微鏡で観測し、クラックヒーリング後の欠陥部を詳細に調査した。さらに、顕微ラマン分光法を用いて照射部における熱処理前後の応力変化を調査した。
