放電開始電圧測定によるY₂O₃膜のプラズマ放電に与える影響評価

抄録

本研究では耐プラズマ膜として用いるY₂O₃膜の各圧力下でのプラズマ放電に与える影響をY₂O₃膜を電極表面に用いた時の放電開始電圧測定から解析した。放電開始電圧はSUS電極、 MgOを蒸着したSUS電極においては圧力の上昇により、指数関数的に低下したのに対し、SUS電極にY₂O₃を蒸着したことにより、圧力の変化による放電開始電圧の変動は見られず、120 V一定で安定していた。この事から、SUS電極にY₂O₃を積層させる事でプラズマに与える影響がMgOに比べて、小さいと考えられる。