日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
2009年年会講演予稿集
セッションID: 2B10
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放電開始電圧測定によるY2O3膜のプラズマ放電に与える影響評価
*松田 邦之高野 晃弘大音 雅宏清川 敏夫大塩 茂夫赤坂 大樹齋藤 秀俊
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抄録
本研究では耐プラズマ膜として用いるY2O3膜の各圧力下でのプラズマ放電に与える影響をY2O3膜を電極表面に用いた時の放電開始電圧測定から解析した。放電開始電圧はSUS電極、 MgOを蒸着したSUS電極においては圧力の上昇により、指数関数的に低下したのに対し、SUS電極にY2O3を蒸着したことにより、圧力の変化による放電開始電圧の変動は見られず、120 V一定で安定していた。この事から、SUS電極にY2O3を積層させる事でプラズマに与える影響がMgOに比べて、小さいと考えられる。
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©  日本セラミックス協会 2009
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