抄録
我々は、スパッタリング法を用いて作製したPd薄膜光検知式水素ガスセンサが、室温に於いて優れた応答特性および高いガス選択性を有することを報告してきた。しかし、スパッタリング法は大型装置や大電力が必要になる。そこで大型装置が不必要であり、また成膜のエネルギー消費量が少ない低環境負荷型の電気めっき法によりPd薄膜光検知式水素ガスセンサを作製し、水素検知特性を調査した。スパッタリング試料は膜厚100nmのフラットなPd薄膜であるのに対し、電気めっき試料は、500nm程度のデンドライト状Pd結晶が島状に堆積していた。電気めっき法により作製したセンサは高い耐久性を有することがわかった。
