抄録
現在、燃料電池に代表される水素やバイオエタノールなどを用いた新規エネルギーシステムが注目を集めている。そのため、これらのガスを安全に利用するためのガスセンサの高性能化が求められている。一方、電気泳動堆積法は簡便な製膜法として知られる他に、複雑形状の製膜が可能で、かつ多孔質な膜の作製が可能であるという利点がある。そこで本研究では、電気泳動堆積法により形成した多孔質チタニア薄膜上に触媒としてパラジウムおよび白金を担持して、接触燃焼式ガスセンサを作製した。得られた多孔質チタニア薄膜の微細構造と、水素ガスに対するセンサ特性を評価した結果を報告する。
