泳動電着法を用いたBa_1-xSr_xTiO₃誘電膜の作製

抄録

電子機器の性能向上,安定化のために高容量の誘電膜が望まれている。本報では、簡便な製膜プロセスである泳動電着法に着目し、Ba_1-xSr_xTiO₃誘電膜を作製した。その結果、バインダーフリーBST粉スラリー試料を用いた電着膜はBST微粉末と比較して膜質が著しく向上した。また、その電着膜を空気中,800℃,30min(昇温速度5℃/sec)の熱処理を行うことで誘電損失が1.85％と良好な膜を得た。Al系のバインダーをコートした試料において,溶媒中での帯電状態が安定し平滑な膜が得られた。また、超微細BST粉スラリー試料を用いると膜厚が薄く,膜質の良い膜が作製できた。