SrTiO3基板表面の平坦化の検討

抄録

機能性酸化物材料のエピタキシャル薄膜の作製に重要である、SrTiO₃単結晶基板表面の原子スケールでの平坦化に取り組んだ。今回は、基板を酸素中で熱処理する方法、BHF中で溶液処理した後酸素アニールする方法、BHF処理前に純水処理をほどこした後酸素アニールする方法の３種類を試みた。今回の実験の範囲では、あらかじめ基板を純水で処理した場合に最もよい結果が得られており、ステップ高さ4nmでテラス幅60nmの基板表面が得られた。