窒化コバルト薄膜へのレーザー描画による微構造形成

抄録

窒化コバルトなどの遷移金属窒化物は熱的に準安定であり、数百度で分解し金属が析出する。窒化コバルト薄膜への直接レーザー照射による金属コバルトの微構造作製を検討した。石英基板上に直接窒化コバルトを成膜し、レーザーを照射すると膜が剥離した。中間層として窒化アルミニウムを成膜した石英基板/窒化アルミニウム/窒化コバルトの積層薄膜では、レーザー照射後も薄膜が剥離せず描画に成功した。窒素雰囲気中で0.3μmの窒化コバルト薄膜へのレーザー照射において最も微小な線幅約500μmの金属コバルト線が得られた。