抄録
圧電デバイスの小型化,高出力化にともない,ハイパワー使用に適した圧電セラミックスの開発が必要となる.この使用条件下での圧電特性測定方法の一つとして過渡応答法がある.過渡応答法とは、電流や振動速度の過渡応答波形の減衰挙動を解析することで機械的品質係数を算出する方法である.しかし,従来の解析に用いられている理論式では,圧電定数の非線形性が考慮されていないため,波形のうねりや周波数の変化を説明することができない.本研究では矩形板状振動子を用い,長辺方向伸び振動による電流と振動速度の過渡応答波形を解析した.そして非線形項を導入することによりハイパワー条件下での波形のうねりや周波数変化を再現し,圧電特性評価を行うことを試みた.