ゾル－ゲル法で作製したPt/WO3薄膜中のプロトンと電子の拡散挙動の観察

山口 祐貴; 江本 ゆかり; 木練 透; 藤本 正克; 前 英雄; 安盛 敦雄; 西尾 圭史; 谷口 由佳

doi:10.14853/pcersj.2011F.0.114.0

第24回秋季シンポジウム

セッションID: 1H21

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2011F.0.114.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

ゾル－ゲル法で作製したPt/WO₃薄膜中のプロトンと電子の拡散挙動の観察

*山口祐貴, 江本ゆかり, 木練透, 藤本正克, 前英雄, 安盛敦雄, 西尾圭史, 谷口由佳

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キーワード: 三酸化タングステン, 薄膜, 水素センサー, ガスクロミズム, ゾル-ゲル法, 拡散

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抄録

Pt/WO₃薄膜はそのガスクロミズムを利用した水素漏洩検知センサーへの応用が期待されている。我々はゾル-ゲル法によって作製したPt/WO₃薄膜は結晶化度の制御により水素検知応答性が向上することを報告している。本研究ではゾル-ゲル法により作製したPt/WO₃薄膜の水素雰囲気暴露時の吸光度の時間変化から解析し、薄膜内部での電子およびプロトンの拡散に関する知見を得た。さらに膜形態が与えるガスクロミック特性への影響を調査し、構造の最適化を行い、より活性の高いPt/WO₃薄膜の作製を試みた。

責任著者(Corresponding author)

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