抄録
現在、医用アレイ超音波プローブの振動子に用いられている圧電材料は、主に圧電セラミックスや高分子圧電フィルムが用いられている。しかし、圧電セラミックス振動子は、周波数帯域が狭く硬脆材料のため、微細なアレイ型プローブの作製が困難である。また、高分子圧電フィルム振動子は、周波数帯域は広いが、送波感度が低いなどの問題がある。一方、我々は、エアロゾルデポジション法を用いて、アレイ状にパターニングされた基板上にPZT 圧電多結晶膜を成膜する研究を行っている。このエアロゾルデポジション法を用いると、複雑な形状や寸法の小さなプローブに対しても、PZT 等のペロブスカイト型強誘電体の多結晶膜を形成することが可能である。そこで本研究では、エアロゾルデポジション法により得られる圧電膜の特長を利用して、小型一次元アレイプローブを作製した。そして、受信波形の確認実験を行った。
