ビスマス層状構造強誘電体(Sr_0.7Ca_0.3)₂Bi₄Ti₅O₁₈セラミックスを用いた超音波モーターの作製と評価

抄録

近年、ペロブスカイト系非鉛圧電セラミックス等の圧電ひずみ定数d ₃₃ が大きい材料を用いた超音波モーターの報告は数多く存在するものの、d ₃₃ の小さいビスマス層状構造強誘電体(BLSF)を用いた超音波モーターに関する報告は見当たらない。そこで本研究では、BLSFの1つである(Sr _0.7 Ca _0.3 )₂Bi ₄ Ti ₅ O ₁₈ 系セラミックスを用いて超音波モーターの作成を試みた。その結果、回転子の回転運動が確認され、中心周波数で300 rpmの回転数が測定された。また、周波数変動に関わる温度上昇は室温に対して20%程度で、周波数の変動は中心周波数に対して0.02%と非常に小さく、回転数への影響は極めて小さかった。