マイクロ波局所加熱による窒化ケイ素の省エネ接合

抄録

　セラミックスの接合をおこなう場合、高温を必要とするのは接合部近傍のみであり、そこに集中的に熱を投入することができれば効率的である。マイクロ波加熱は、サセプターを用いることで局所に熱を集中させることが可能であり、局所加熱に向く方法であるといえる。一方で、被接合材、接合インサート材、断熱材、サセプター、雰囲気、などの組み合わせが限られる、という問題もある。ここでは、比較的容易にマイクロ波により局所加熱できる窒化珪素について、その接合例を報告する。