日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第24回秋季シンポジウム
セッションID: 2PB10
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マイクロ空間を利用した酸化銅薄膜の形態制御
*矢田 光徳大塚 誠史井上 侑子鳥飼 紀雄渡 孝則
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キーワード: 酸化銅, 薄膜
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抄録
銅板上に酸化銅薄膜を形成した。薄膜形成時のマイクロ空間の有無により薄膜の形態は大きく異なり、マイクロ空間を利用して薄膜を形成した場合、長方形もしくは正方形の酸化銅板状粒子(大きさが数マイクロメートル,厚みが数十ナノメートル程度)からなる薄膜が形成された。しかし、マイクロ空間を利用せずに同様な合成を行った時には、このような規則正しい形態は形成されなかった。
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©  日本セラミックス協会 2011
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