サファイア基板上への窒化スカンジウム薄膜の作製

抄録

　ScNは、岩塩型の結晶構造を有するため、その成長基板には、同じ岩塩型結晶構造のMgO単結晶が一般的に用いられる。しかしながら、MgOは、高品質かつ大口径の単結晶を得ることが困難である。そこで、高品質な大口径基板材料として広く利用されているサファイア単結晶上に、MBE法を用いて、ScN薄膜を成長させ、その配向性、結晶性について検討した。当日は、ScNとサファイア基板との原子配列、格子整合性の観点から、サファイア基板上に作製したScN薄膜の成長様式について議論する予定である。