抄録
プラズマ電解酸化法(PEO)は、火花放電を伴いながら金属表面に不動態酸化皮膜を生成させる電気化学表面処理技術である。さらに、PEOが液相中でのプロセスであることを利用し、電解液成分が添加されたコーティングが作製可能であり、耐摩耗性や耐腐食性が向上したセラミック膜の作製が期待できる。しかし、電解液中に分散するセラミック粉末が発生する火花放電や酸化反応に及ぼす影響は未だ不明な点が多い。本研究では、窒化珪素粒子が添加されたPEO膜の作製を試みると共に、窒化珪素粉末がPEO膜生成に与える影響を評価した。