Ba(Zr,Ti)O₃セラミックスの誘電特性におけるサイズ効果

抄録

種々のグレインサイズを有するチタン酸ジルコン酸バリウム（BZT）セラミックスを作製し，リラクサー強誘電体であるBZTセラミックスのサイズ効果について検討した。粒径100nmのBZT（Zr:Ti=2:8）粉末を原料として，2段階焼成法によりセラミックスを作製した．その結果，1.7～20μmの範囲でグレインサイズを制御することができた．また、エアロゾルデポジション法を用いてBZT厚膜の自立膜を作製した。自立膜の熱処理によって，グレインサイズ50～500nmの範囲でグレインサイズを制御することができた．グレインサイズの減少に伴ない誘電率が減少し，相転移がブロード化することがわかった．