SD-SiC中の酸素が緻密化と構造規則化に与える影響

抄録

積層不規則構造を有するSiC(SD-SiC)粉末をAr雰囲気下でのMA法にて合成し、SPS法を使用することで焼結助剤無添加のSiC緻密体(相対密度99.5%)の作製に成功している。本研究では、SD-SiC中の酸素に注目し、緻密化と構造規則化に与える影響を調べるために、SPS法で用いる焼結型への粉末充填をArと大気雰囲気下にて行った。相対密度99.5%以上の緻密体を作製するために必要な焼結温度は、大気雰囲気下で粉末充填した試料の方が低温であった。また、大気雰囲気下で粉末充填した試料では、積層欠陥がより多く残留した。焼結体中の残留酸素濃度から、これらについて考察する。