Y添加BaZrO₃薄膜のプロトン透過性基板上への低温形成

抄録

燃料電池や水素センサー等の応用に向けて、代表的なペロブスカイト型プロトン伝導体であるBaZr_1-xY_xO₃(BZY)の水熱反応を利用した低温薄膜形成を試みた。150℃という低温で良好な結晶性を持つBZYが形成可能であり、水熱合成中のアルカリ濃度を高くする事によって結晶性は向上した。　予め種結晶層を形成しておくことにより均一かつカバレッジの良い膜形成が可能あるとともに、Pdの様な酸化が問題となる基板上へも酸化膜の介在無しに薄膜形成する事が可能であり、安定相であるBaZrO₃析出過程において、析出場を制御することによって、基板酸化の抑制とYドープの制御が可能となると考えられた。